关于坩埚漏水问题

良哥 · 发表于 2011-11-30 13:23:13

南光机坩埚漏水了，换了新的密封圈还是漏水，大家知道还有什么问题吗？

xiazg · 发表于 2011-11-30 13:45:43

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cgzsad0432 · 发表于 2011-11-30 14:33:59

描述得不够清楚，，你是怎么确定坩埚那里漏水的？？有没有可能是冷却水管的接头处漏水，或者枪头的冷却水漏水

yibi11 · 发表于 2011-11-30 17:20:09

本帖最后由 yibi11 于 2011-11-30 17:20 编辑

你是指。。。真空室里？还是真空室下面。以前渐冷式坩埚我倒是遇到过真空室内漏水，除了更换垫圈之外，得确保安装的正确性，特别是坩埚本身的进水出水口，千万不能搞错，否则冷却不好，再下一次镀膜的时候会很快烧坏你换上的垫圈导致再次漏水

三月 · 发表于 2011-11-30 17:56:30

xiao2011 · 发表于 2011-11-30 19:15:41

272813953 · 发表于 2011-11-30 23:08:40

是不是你的密闭圈没放好啊,或者坩埚转盘给电子枪打穿了个小洞啊

243667046 · 发表于 2011-12-1 13:47:56

要正确的的找出漏水点

良哥 · 发表于 2011-12-2 11:04:32

243667046 发表于 2011-12-1 13:47
要正确的的找出漏水点

您说的对

良哥 · 发表于 2011-12-2 11:27:37

cgzsad0432 发表于 2011-11-30 14:33
描述得不够清楚，，你是怎么确定坩埚那里漏水的？？有没有可能是冷却水管的接头处漏水，或者枪头的冷却水漏 ...

因为我把它拆开了，我又换了几个密封圈，上下都换了。结果好像不漏了，先用着看看

良哥 · 发表于 2011-12-2 11:29:21

272813953 发表于 2011-11-30 23:08
是不是你的密闭圈没放好啊,或者坩埚转盘给电子枪打穿了个小洞啊

应该是

良哥 · 发表于 2011-12-2 11:36:55

yibi11 发表于 2011-11-30 17:20
你是指。。。真空室里？还是真空室下面。以前渐冷式坩埚我倒是遇到过真空室内漏水，除了更换垫圈之外，得确 ...

谢谢

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