tooling测算时的曲线问题

Jimmy_tang · 发表于 2011-11-24 15:23:59

我最近在测量SiO2与Al2O3在石英玻璃基底上的tooling值。
SiO2在石英玻璃上镀膜后，走2个极值的时候，扫描出的曲线几乎为一直线。但走3个极值的时候，扫描出的曲线却又有起伏，这是为什么啊？
从TFC上模拟，根本模拟不出走2个极值时的曲线嘛，除非厚度在0.4个极值以下。
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另外，下面这张是走3个极值后的曲线，我也有问题，为什么扫描出的曲线起伏明显比TFC模拟的曲线，起伏要小很多？
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请有经验的弟兄帮我解惑吧，谢谢了。

xiao2011 · 发表于 2011-11-24 17:11:19

WENJINGREN · 发表于 2011-11-25 11:10:51

你镀的膜厚是多少

WENJINGREN · 发表于 2011-11-25 11:10:57

你镀的膜厚是多少

Jimmy_tang · 发表于 2011-11-25 12:33:17

WENJINGREN 发表于 2011-11-25 11:10
你镀的膜厚是多少

走值分别是2个极值和3个极值，计算出来的厚度，是216nm和325nm。

风寒雪月缺 · 发表于 2011-11-28 09:36:16

你模拟的折射率有问题。SIO2和石英玻璃的折射率差值很小，曲线的起伏就很小。测这个你应当找个折射率较高的基板。

Jimmy_tang · 发表于 2011-11-28 13:18:04

风寒雪月缺发表于 2011-11-28 09:36
你模拟的折射率有问题。SIO2和石英玻璃的折射率差值很小，曲线的起伏就很小。测这个你应当找个折射率较高的 ...

这是因为我的膜是镀在光纤上的，因此采用了石英玻璃进行试镀。

ipshjh2005 · 发表于 2012-1-2 21:52:10

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