Veeco Mark II 离子源的一个问题？（希望大家能帮我支支招）

E501559 · 发表于 2011-10-17 09:19:03

用过Veeco Mark II 离子源的兄弟们应该会比较熟悉一些，问题是这样的如下：

我们在镀膜的时候，在不冲氧气的情况下，离子源各个参数OK，可是接下来问题就来了，在打开氧气冲氧气的时候，中和电流在发生变化，它随着真空度的变化而变化，也随着氧气冲入多少的变化而变化；困扰我的问题就在这，为什么中和电流会发生很大的异变，之前的话，不管真空度、氧气怎么变化，中和电流也不会发生变化的，求大家指点！

fql3310 · 发表于 2011-10-18 06:29:43

打火?

E501559 · 发表于 2011-10-18 08:49:35

fql3310 发表于 2011-10-18 06:29
打火?

打火？？？能否说得明白点！谢谢！

JINFENG215107 · 发表于 2011-10-18 14:51:33

脏了或者里面短路

E501559 · 发表于 2011-10-18 15:23:18

JINFENG215107 发表于 2011-10-18 14:51
脏了或者里面短路

我都检查过了，离子源里面、控制器里面都没有问题啊！

fql3310 · 发表于 2011-10-19 04:17:26

接触不好.螺丝松了之类的事情.

mfsw123 · 发表于 2011-10-19 06:12:07

路过学习

WEI爱依旧 · 发表于 2012-1-11 23:38:41

fql3310 · 发表于 2012-1-12 19:29:05

这个你还是请教一下中科院的老总，他们是专家．

想夜的雨 · 发表于 2012-1-12 21:05:13

充气管路漏气

E501559 · 发表于 2012-1-16 08:32:19

想夜的雨发表于 2012-1-12 21:05
充气管路漏气

氧气还是氩气？

dcjlcm · 发表于 2012-1-16 14:17:56

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