请教镀膜问题表面发白

fql3310 · 发表于 2011-10-25 13:27:47

哦，顺便说一下，镀TI的氧化物膜层本身是白朦朦的。只有VEECO机才能消除这个缺点。如果是AR膜的话不明显。膜层多的话很明显。你自已看一下。

huang12949 · 发表于 2011-10-27 11:26:18

楼上的兄台，我取消了TIO2，使用ZNS是一样的，改用ZRO2也是一样

魅力薄膜 · 发表于 2012-8-24 02:27:24

这么古老的问题不知道结局是什么样子的。应该是SIO2不能充氧吧

fql3310 · 发表于 2012-8-27 00:25:08

SIO2充氧与不充氧膜层结构都是一样的，楼主用的不可能是进口离子源。

ghtzna · 发表于 2013-1-26 17:29:41

是不是温度高了还有就是哈气检验基板是否有白色雾状东西你可以不清洗试试

chugqchugq · 发表于 2013-1-28 22:54:59

不能用ZNS

小技工 · 发表于 2013-1-29 14:38:04

电子枪温度上升，造成基板（胶底）熔接

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