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[讨论] 常用膜料AL2O3的问题

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发表于 2011-10-7 22:54:08 | 显示全部楼层 |阅读模式
大家好,有AL2O3膜料使用问题,请大家帮帮忙。
现在我们用AL2O3没有充氧,听说没有充氧,AL2O3会发黄,请问不充氧的时候AL2O3会是什么成分呢,充氧与不充氧的优劣呢,我们用AL2O3的时一直没有充氧,除了膜料会发黄外还没有发现其他什么问题,请大家帮帮忙了,渴望求解
发表于 2011-10-10 10:59:14 | 显示全部楼层
用中折射率的材料来做AR 你的初始真空度要确认   充氧和不充氧是一个相对的    真空度好的话  基本上充氧就是起到更好的结合  。。。。。。。。。。
发表于 2011-10-11 14:13:40 | 显示全部楼层
从他这几个月的帖子看下来,真空度是没有问题的。。。
不是说充氧能够使得膜层更加致密么。是否会导致膜层吸收增大?从而导致损伤阈值降低?
我在镀膜的时候有一种氧化物也是规定不充氧的。
发表于 2011-10-11 19:26:37 | 显示全部楼层
发表于 2011-10-12 10:02:54 | 显示全部楼层
AL203会失氧,不充氧有吸收。
发表于 2011-10-12 10:36:35 | 显示全部楼层
额,我说的就是不充氧就会
“是否会导致膜层吸收增大?从而导致损伤阈值降低?”
发表于 2011-10-12 10:42:57 | 显示全部楼层
相当的。
发表于 2011-10-12 19:09:26 | 显示全部楼层
不充氧,有可能AL2O3成膜会分解为ALO,AL , 成膜会呈现金属质吸收,直观的表现是AR膜镜片发黄,如果用奥林巴斯反射仪测定时其反射是符合要求的,但测透过时,你会发现透过NG。 所以AR膜中氧化物不充氧的可能后果。 上面一位兄台说充不充氧是相对的,主要看你的镀膜初始真空值,这个是正确的,但不是定理。
 楼主| 发表于 2011-10-12 19:46:15 | 显示全部楼层
huang12949 发表于 2011-10-12 19:09
不充氧,有可能AL2O3成膜会分解为ALO,AL , 成膜会呈现金属质吸收,直观的表现是AR膜镜片发黄,如果用奥林 ...

请教一下你认为AL2O3的镀膜真空条件多少比较好呢,比如我镀膜真空是2.0-3开始镀膜和我4.0-3开始镀膜充氧会是什么情况呢,目前为止,我还不知道AL2O3有关的性质,看了很多资料,都没有看到,大部分资料都是介绍MGF2,SIO2,TIO2等
发表于 2011-10-13 13:38:01 | 显示全部楼层
充氧和不充氧是工艺需求,背景真空是提供一个更加洁净的真空环境,杂质更少,在你工艺条件允许的情况下,低点也好。充氧不充氧不是真空度决定的。
发表于 2011-10-13 14:59:30 | 显示全部楼层
我充氧是从6.0e-3开始的咧。老镀膜机了,没办法。等哪年换新镀膜机了,我从-4开始充氧镀膜去。
发表于 2011-10-13 16:20:13 | 显示全部楼层
等以后咱到天宫去做,真空度不用看了。
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