求教!防油污膜问题

村干部88 · 发表于 2011-9-17 20:37:10

基片CR39做6层AR加镀防油.<TI3O5.SIO2>用大金防油药阻蒸.镀了450A却一点防油效果都没有.真空6.0*10-3PA.要烧两到三颗药基片发朦.发白后洗干静才有点效果.尔后把基片不镀AR.直接烧防油一颗效果就很好.又把AR最后一层SIO2少镀300A.用SIO补镀.再上防油.一颗效果就有了.但又不耐擦.而且AR会擦变色.是防油药跟SIO2不兼容吗?试了度恩等其它几种防油药都差不多.但镀防水药效果又很好.请各位大侠指点一下!

玲玲 · 发表于 2011-9-17 21:42:44

改变AR 镀层，用(AL2O3+H4)+MGF2+SIO2(300A)+防油膜，提高蒸镀条件。

LILISRLHJ · 发表于 2011-9-17 22:42:54

玲玲发表于 2011-9-17 21:42
改变AR 镀层，用(AL2O3+H4)+MGF2+SIO2(300A)+防油膜，提高蒸镀条件。

cr39 MGF2也上来那，不知道是什么工艺，可以的话请指教一下！！天天学习！！

村干部88 · 发表于 2011-9-18 10:26:35

谢谢.因为片基为CR39不行热镀.容易变型.暂不考虑MGF2.今天又试了两炉.一炉用SIO2打底<200A>直接镀防油.一炉用SIO打底<200A>直接镀防油.同等条件下.SIO的有效果.而SIO2的没有.机台1200*1400.行星转架.真空6.0*10-3PA.跟材料有关系吗?

玲玲 · 发表于 2011-9-19 21:51:53

村干部88 发表于 2011-9-18 10:26
谢谢.因为片基为CR39不行热镀.容易变型.暂不考虑MGF2.今天又试了两炉.一炉用SIO2打底直接镀防油.一炉用SIO打 ...

看你的实验结论就是SIO2+防油膜不可以，但你有无改变SIO2的镀膜条件试验，不充氧或镀膜时加温40-50度左右，以上供参考！

宇宙深处 · 发表于 2011-9-20 11:52:40

这确实是个问题，行业性的问题，跟你的技术好坏无关。
我建议你补SIO时少上一点约60~90即可！这样能很大程度减轻掉色的现象!个见, 问好!

村干部88 · 发表于 2011-9-20 21:06:47

谢谢大家帮忙.只是这问题太怪了!今天把基片直接镀防油.混一片镀好AR的<最后一层SIO2>一起镀.其它的效果OK.镀AR的不行.晕头转向......

zjtiantao · 发表于 2011-10-26 13:06:16

你所说的SIO和SIO2是否只是镀膜时充氧与否的差异，材料都是SIO2？
据我所知，AS薄膜前一层最好不要充氧，不要使用离子源。

haitao1573 · 发表于 2011-10-27 22:15:34

学习了，

shuangzixing · 发表于 2011-10-28 08:58:35

主要控制好镀防水膜药片。不能使药片融化

xiao2011 · 发表于 2011-11-28 13:29:38

tyan007 · 发表于 2011-11-30 10:04:47

跟sio2应该没有什么关系的。你用的是大金的防油膜吧？

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