电子枪镀膜电流大小与速率大小的配合

缘睐汝痴 · 发表于 2011-9-16 19:55:08

wlinliu 发表于 2011-9-16 19:07
晶控还是光控

我之前用的韩国PTK机器，和韩一差不多的，是个组装机，采用的是半自动，电流是自己加的，TIO2电流加到了248左右，速率也才1A/S，SIO2电流加到了90，速率是3A/S。霍尔离子源只是镀前开几分钟清洁，镀膜过程不开，电子枪也是焦耳的，不知道为什么，机器是1350的。现在是南光800，电流只需100，高折射速率就达到5；低折射电流只需40，速率就达到7，不解？
晶控的。但是昭和是晶控和光控同时监控，也是和韩国机一样的

otxtc · 发表于 2011-9-17 01:05:54

这和晶控还是光控没有关系，它们只是测量工具。
1，前面提过的水冷关系最大。你试过用不同材质的坩埚，就知道水冷影响效果了。水冷差的，同样束流，被带走的热量少，更容易蒸发。注意你的南光机器坩埚冷却水流量是否正常。
2，坩埚到晶控片的距离和角度也是一个因素哦。垂直、越近显示速率越大。这个容易理解的。

缘睐汝痴 · 发表于 2011-9-17 09:33:00

otxtc 发表于 2011-9-17 01:05
这和晶控还是光控没有关系，它们只是测量工具。
1，前面提过的水冷关系最大。你试过用不同材质的坩埚，就知 ...

嗯，谢谢你的解答。还想请教你一个问题，就是你觉得高低折射率的速率控制在多少适宜呢，比如MGF2，我见过了很多速率，而且差别很大，小的是3A/S，大的则达到了10。虽然我知道工艺的灵活性，但是相差也太大了吧。另外我们镀TIO2时速率才1，还是很不解啊

otxtc · 发表于 2011-9-17 11:19:41

本人专攻方向不在成膜，对工艺是一知半解，不该乱说，呵呵

介质膜速率在 10A/S以下都是常见的.
你知道的，理论上只要膜层n,d达到设计要求，不用关心速率。
但实际成膜时，膜层 n、nd、均匀性、光洁度、牢固度等都与速率有关。
成膜工艺是一门复杂的技术，受到包括真空度、温度、速率、厚度等要素的综合限制。
批量生产中还要考虑的因素有产量、均匀性、重复性、成品率、成膜时间等。
镀什么膜(产品)需要什么工艺，这是工艺设计人员的工作。你问他更直接和清楚。

yibi11 · 发表于 2011-9-20 09:36:31

缘睐汝痴发表于 2011-9-16 19:53
我之前用的韩国PTK机器，和韩一差不多的，是个组装机，采用的是半自动，电流是自己加的，TIO2电流加到了2 ...

还是应该是枪的问题，不要说你即便是用同一个型号的枪，就是用同一个枪，你换灯丝的时候上的位置有点出入，它能拉的功率也不一样，另外，新灯丝和用了很久的灯丝，也是又差别的。我觉得这个问题没有必要死钻，毕竟任何东西都有它的差异性，我们只要了解我们用的机器的性能就可以了，非要搞清楚它们为什么会有差别，我想这个对我们镀膜人员来说就没多大意义了。

缘睐汝痴 · 发表于 2011-9-20 10:37:51

yibi11 发表于 2011-9-20 09:36
还是应该是枪的问题，不要说你即便是用同一个型号的枪，就是用同一个枪，你换灯丝的时候上的位置有点出入 ...

嗯，谢谢

宇宙深处 · 发表于 2011-9-20 11:39:35

楼主描述的现象有点离谱了,TI3O5 240A 才1A/S ,我觉得发射器要好好检查一下.(如果其它蒸着条件都相对正常的话).

缘睐汝痴 · 发表于 2011-9-20 13:28:02

宇宙深处发表于 2011-9-20 11:39
楼主描述的现象有点离谱了,TI3O5 240A 才1A/S ,我觉得发射器要好好检查一下.(如果其它蒸着条件都相对正常 ...

嗯，就是。这会不会和离子源有关系呢，我们只是镀前开几分钟起清洁作用，用的是霍尔离子源

宇宙深处 · 发表于 2011-9-20 14:33:54

缘睐汝痴发表于 2011-9-20 13:28
嗯，就是。这会不会和离子源有关系呢，我们只是镀前开几分钟起清洁作用，用的是霍尔离子源

我觉得关系不大,离子枪与电子枪是两个独立的系统.

xiazg · 发表于 2011-9-23 16:32:12

嘉兴晶控电子有限公司——晶振片专业生产厂家
原材料到成品的100%制造

嘉兴晶控电子有限公司（JJK）成立于2004年初，公司位于浙江省嘉兴市余新镇工业园区。是一家集研发、生产、销售石英晶振片和石英晶体微天平的科技型企业。
公司于2004年开始生产石英晶振片基片，并于2005年下半年大量供应美国市场，成为国内最大的石英晶振片基片生产商。经历4年技术和经验的沉淀之后，2008年JJK决心自创品牌，从美国引进先进的镀膜设备和检测设备，以一流的技术、一流的团队，凭借一流的基片，精心打造国内晶振片第一品牌。

为满足国内市场各种型号、规格晶控仪对晶振片的差异化需求，JJK精心设计和制造了多种不同规格的晶振片（5/6MHZ金、银、合金3种电极），并全面开拓国内市场。JJK晶振片不仅品种规格齐全，更重要的是，JJK晶振片品质性能的稳定性和可靠性与进口晶振片已无差距，可重复使用次数也达到了进口晶振片的水平。至2010年底，我们的客户达到400多家，产品广泛应用于光学镀膜、半导体（LED）行业，医疗、军事、航天等研究机构，远销美国、新加坡、德国、日本等海外市场，并受到业界的一致认可。现公司还有一些镀膜材料和晶振探头等产品。
联系人：夏经理 15068338773 QQ1046118891

ipshjh2005 · 发表于 2011-10-11 07:41:30

shweigi · 发表于 2011-10-11 22:08:39

如果外观和特性都没问题,楼主还是不用纠结了吧

[讨论] 电子枪镀膜电流大小与速率大小的配合

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