关于交替镀多层高低折射率膜出现的问题

xiaojiang007 · 发表于 2011-8-26 17:38:36

如题在交替镀多层高低折射率的材料时，发现膜厚仪上两种材料的走值差越来越小镀到5到6层时，数值之差只有3到5个值之差我的材料是zrti sio2 例如会出线zrti走到87的时候换sio2 只走到84就回头了而且走动很快请问是什么原因呢我的摸系是(HL)^10 H 望高手解答谢谢

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longmin · 发表于 2011-8-27 06:11:47

光控片最好是兩層一個點

zhangking · 发表于 2011-8-27 11:38:39

最有可能的是应力,看看你膜系的敏感度.
可以考虑楼上建议

john03062003 · 发表于 2011-8-27 22:43:59

需要多个监控片来监控，如果只用两个监控片肯定会出现这种问题，随着厚度的增加，监控片上所镀膜层的等效折射率就越接近镀膜材料的折射率，因此，光量信号的敏感度会越来越小，走值也就会越来越少！

wangxudong1227 · 发表于 2011-8-27 22:50:51

会不会监控波长选择的不好？你要是选的截止掉的些段，都被截了还会有波动么？好吧我说的是直控··

逐梦者 · 发表于 2011-8-28 11:08:53

还是不懂！

meilirensheng · 发表于 2011-8-28 15:50:39

xiaojiang007 · 发表于 2011-9-10 10:34:34

longmin 发表于 2011-8-27 06:11
光控片最好是兩層一個點

没有这多工位啊只有6个监控位那该怎么办啊

E501559 · 发表于 2011-9-13 17:13:36

光控不是在晶控的基础上才可用吗

yzhuang · 发表于 2012-3-4 17:15:56

尝试两种膜料用不用光控位来控制

想夜的雨 · 发表于 2012-3-4 22:11:30

晶控和光控都要2层换一次，

royyang · 发表于 2012-6-26 19:30:23

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