有没有人是做DLC的，有问题请教！

ding23 · 发表于 2004-7-31 21:48:00

有没有人是做DLC的，有问题请教！

michaelzhj · 发表于 2004-8-2 06:17:00

说！！！

ding23 · 发表于 2004-8-7 05:13:00

好的谢谢先！请问你们做的DLC一般多厚的？然后DLC膜在什么基采上沉积他们的结合力较好！

还有我们基本上是做十几A的薄膜，在这种情况下用什么测量厚度比较好！椭谝仪不是很好！不够精确！因为我们一般在镀DLC之前还镀一层Si大约也是几个A！还有很多问题！以后再请教！！谢谢大哥！

chugqchugq · 发表于 2004-8-9 22:39:00

我在金刚石上镀过增透膜

wish · 发表于 2004-8-11 21:08:00

DLC在Si上结合力还可以，不过要稍微掺杂点N

缘睐汝痴 · 发表于 2012-4-15 21:19:10