楼主: hngyc

求助:真空镀膜机蒸发铝

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发表于 2004-9-9 22:26:00 | 显示全部楼层
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发表于 2004-9-21 18:29:00 | 显示全部楼层

會不會你的電子槍打歪了呀

发表于 2004-9-23 06:13:00 | 显示全部楼层
钼不适宜用来蒸发铝,最好的办法是用钨丝作热源蒸发,效果最好。
发表于 2004-9-23 07:13:00 | 显示全部楼层

难道用磁控溅射不好吗?

发表于 2004-9-23 17:57:00 | 显示全部楼层
好,简直太好了
发表于 2004-9-23 23:05:00 | 显示全部楼层
真是学问大长呀我.
发表于 2004-10-18 16:51:00 | 显示全部楼层

镀铝最好是用钨舟比较实惠,也比较实际

金属膜尽量使用阻抗蒸发,电子束打出的电子会影响膜的附着

发表于 2004-10-18 17:53:00 | 显示全部楼层
鍍鋁還是用電子槍好一些,膜層強度要比熱蒸發好一些,但最好使用和金屬不相浸的坩堝,導熱型差一些的好,否則熱量很容易散發掉,要用很大的電子槍功率才能達到不很高的蒸發速率。至於2次電子,鍍什麼膜的時候都會產生,這麼說不是什麼膜都不能鍍了麼?那還要電子槍做什麼?
发表于 2004-11-1 07:20:00 | 显示全部楼层
如不稳定你来找我。
发表于 2004-11-2 00:20:00 | 显示全部楼层

钨钼蒸发舟都可以

发表于 2004-11-5 00:24:00 | 显示全部楼层
用紫铜的坩锅镀什么问题都没有,
发表于 2004-11-7 04:35:00 | 显示全部楼层
呵呵,我门用E-GUN的时候,直接在坩埚座上融铝,再蒸镀,不用坩埚
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