氧化物电子束镀膜补氧的方法

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氧化物电子束镀膜需要补氧，请问各位专家补氧的方法：补氧的位置是坩锅位好，还是直接补在离子源进行辅助镀好呢？

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最好是两者结合。单纯用坩埚位补氧，就算是膜料完全氧化沉积在基片上，在充氩的离子源轰击时仍然会造成膜层氧化物失氧。

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不同位置N差不了多少

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离子氧是最佳的.具体在那个位置,那不好说了.

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1.離子氧活性好, 所以結合性佳

2.通氧管接於坩鍋附近,易造成電子槍鎢絲氧化 ,簡短使用壽命

3.不同的通氧位置,藥材反應可能會不太一樣, 得到的N值有會不同

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以下是引用kuan在2004-6-22 23:23:44的发言：

2.通氧管接於坩鍋附近,易造成電子槍鎢絲氧化 ,簡短使用壽命

有直接结果吗？看在坩埚附近的氧的扩散是如何进行的，有可能还增加寿命呢，因为从氧在真空室中的总浓度来考虑，它是降低的。