以前有做过,是用的三种膜料,高折射率材料的折射率越高越好,RS、RP分离量小于3%的带宽在70nm以上
谢谢大家的提醒,我找下章岳光 顾培夫的文章看一下
to coatingli:
PDL0.1dB恐怕要求RS、RP分离量1%,所以我觉得难度很大。hoho.各位老师还有什么好办法多指点一二,多提供下思路也可以,小弟多谢了。
PDL是指损耗的差值,而不是分离量.PDL0.1db应该很好做.
有人看了那文章了吗?难道金属膜加两介质膜后吸收就会减少了吗?
实在佩服楼上的老兄能做70nm的消偏膜
谢谢,真的不错!
谢了,rmchen,东西我收着了,看看,试着设计下先.
大家能再谈谈镀制消偏膜时应该注意的一些问题吗?
正是这个问题,前期推掉了一个订单,很郁闷啊!
大家讨论这么多,主要方法有:介质膜+金属膜+介质膜;三种材料;请问还有别的什么方法吗?
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