ITO膜有白雾

shuangzixing · 发表于 2011-8-19 15:00:12

我们使用电子枪镀ITO。电阻值可以控制好但现在发现有时候基片上会有白雾状，用布擦拭后更加明显。但有时镀出来非常好。用离子源。请高手解答谢谢

ghtzna · 发表于 2011-8-19 16:17:16

速率用多少还有是不是清洗的问题把你的制程show 出来
ITO 外观是个难题啊你的雾是不是没有规则的

ghtzna · 发表于 2011-8-19 16:17:38

最好上图

shuangzixing · 发表于 2011-8-20 09:54:05

不是每炉有雾状。基片我们都是用手工擦洗的应该没问题。而且我每次都做好详细的镀膜经过和没有白雾状镀膜条件相同的。白雾状是整片都有。如果擦拭的话基片上很明显的。特别是在灯光下观察擦拭后有布纹一擦更加明显。

Jimmy_tang · 发表于 2011-8-22 13:22:37

看了半天，没看懂。

你是不是说：
镀膜后有雾和镀膜后没有雾状的，镀膜条件都完全相同。
镀膜后有雾状的基片，会整片都有雾状花纹，特别是如果擦拭后在灯光下观察，雾状花纹会更明显？

ghtzna · 发表于 2011-8-22 14:35:03

这是很正常的状态偶尔有偶尔没有你的基板能保证都是相同的么

shuangzixing · 发表于 2011-8-23 13:04:51

5楼：我已经说的很明白了。试镀膜后发现基片有白雾状。不是每一炉都有。镀膜条件控制基本相同

shuangzixing · 发表于 2011-8-23 13:05:22

打错一个字应该是（试）

Jimmy_tang · 发表于 2011-8-24 14:05:45

抱歉，我说的是你在4楼的话没有标点符号读起来有些吃力。
我认为问题应该是出在基片上的，你镀膜时，不同锅的基片是同一批次的吗？或者说，是同一毛坯，同一盘上下下来的？

宇宙深处 · 发表于 2011-8-24 14:10:11

shuangzixing · 发表于 2011-8-25 12:15:06

基片是要货公司提供的。所以不知道是否同一批次，万一是不同一批次但我想不会是一炉全是白雾吧。一炉里只要有一块有白雾那就全军覆灭了。所以我不认为是基片问题。主要还是出现在镀膜上，工艺要点还没掌握好才导致有时候会一炉好还是一炉不好的情况。

xiazg · 发表于 2011-8-26 09:24:14

嘉兴晶控电子有限公司（JJK）成立于2004年初，公司位于浙江省嘉兴市余新镇工业园区。是一家集研发、生产、销售石英晶振片和石英晶体微天平的科技型企业。
公司于2004年开始生产石英晶振片基片，并于2005年下半年大量供应美国市场，成为国内最大的石英晶振片基片生产商。经历4年技术和经验的沉淀之后，2008年JJK决心自创品牌，从美国引进先进的镀膜设备和检测设备，以一流的技术、一流的团队，凭借一流的基片，精心打造国内晶振片第一品牌。

为满足国内市场各种型号、规格晶控仪对晶振片的差异化需求，JJK精心设计和制造了多种不同规格的晶振片（5/6MHZ金、银、合金3种电极），并全面开拓国内市场。JJK晶振片不仅品种规格齐全，更重要的是，JJK晶振片品质性能的稳定性和可靠性与进口晶振片已无差距，可重复使用次数也达到了进口晶振片的水平。至2010年底，我们的客户达到400多家，产品广泛应用于光学镀膜、半导体（LED）行业，医疗、军事、航天等研究机构，远销美国、新加坡、德国、日本等海外市场，并受到业界的一致认可。现公司还有一些镀膜材料和晶振探头等产品。
联系人：夏志国 15068338773 QQ1046118891

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