弱弱问一下，各位对付20um的麻点镀膜有什么好方法？

fasces9 · 发表于 2011-7-23 08:55:51

本帖最后由 fasces9 于 2011-8-4 14:22 编辑

对付20um的麻点，镀膜试过预溶与镀膜分开，大清机，板子刷的跟出厂似的，更换新的好的膜料，地用纯水拖了又拖，蒸发速度SIO2降到 0.8nm/s os50 降到0.25nm/s。。。镀膜环境是等到真空室里用测尘埃计数器降到0.3um每分钟少于80个才推片的，基底片都是在强光灯下看了没灰尘才排的，而且直到上片前防护措施都比较OK 镀出来麻点竟然还是40um

，没辙了

wazxq · 发表于 2011-7-23 10:14:05

什么镀膜机,那儿的枪

filmokay · 发表于 2011-7-23 16:16:17

拖地也算措施了？实测环境到底有多干净？

fasces9 · 发表于 2011-7-23 16:20:51

wazxq 发表于 2011-7-23 10:14
什么镀膜机,那儿的枪

光驰机 GENER-1300 日本电子的枪

fasces9 · 发表于 2011-7-23 16:23:15

filmokay 发表于 2011-7-23 16:16
拖地也算措施了？实测环境到底有多干净？

用尘埃测试器测试到5um以上灰尘没有为止，一般来说1um都很少，0.3um灰尘倒是很多

filmokay · 发表于 2011-7-23 16:42:05

新的好的膜料的判断标准是什么？什么好？镀膜速率稳定？熔料彻底，不溅料？
换过没有改善赶紧换回来。呵呵

fasces9 · 发表于 2011-7-23 17:45:04

filmokay 发表于 2011-7-23 16:42
新的好的膜料的判断标准是什么？什么好？镀膜速率稳定？熔料彻底，不溅料？
换过没有改善赶紧换回来。呵呵

OPTRON 最贵的那种昨晚开始溶药我亲自搞的，中间没看，今天溶完药我也是亲自看着的，目前正准备试完全溶透一点都不溅的药，看看效果有没有改善。
镀膜速率是稳定的。

ghtzna · 发表于 2011-8-2 14:31:51

fasces9 发表于 2011-7-23 17:45
OPTRON 最贵的那种昨晚开始溶药我亲自搞的，中间没看，今天溶完药我也是亲自看着的，目前正准备试完全溶 ...

其实跟你的镀膜环也有关系的，还有就是排气设定

jiayuch · 发表于 2011-8-3 08:14:33

你找问题还是应该盯住真空室找，只要是超净环境就影响不大

个人经验

Jimmy_tang · 发表于 2011-8-4 09:42:13

我是个菜鸟，不太懂。
膜料蒸速越低，光洁度就越好吗？另外，你使劲拖地，会不会导致空气湿度过大了？

fasces9 · 发表于 2011-8-4 13:45:04

ghtzna 发表于 2011-8-2 14:31
其实跟你的镀膜环也有关系的，还有就是排气设定

排气是刚开始抽气由于门密封不是很好是有点声音，也许是个原因，不过我对比过几台机子，找的是光洁度最好的一台。

fasces9 · 发表于 2011-8-4 13:48:17

jiayuch 发表于 2011-8-3 08:14
你找问题还是应该盯住真空室找，只要是超净环境就影响不大个人经验

谢谢，呵呵目前能想出的就是膜料以及光斑大小的问题了

[讨论] 弱弱问一下，各位对付20um的麻点镀膜有什么好方法？