最外层镀制SIO2后，膜层硬度达不到客户要求，是怎么回事，该如何克服？

阿俊 · 发表于 2011-7-22 08:43:54

如题。
客户使用的是专用测试膜硬度的美国产橡皮擦，加一定的压力后来回擦拭20次，
出现擦试伤或掉膜现象。
各位，有什么办法能克服！
是增透膜，外层不可用MGF2

mangovc · 发表于 2011-7-22 09:53:17

有用离子源辅助么？没有那就加，如果有的话就增加功率，提高辅助效果

阿俊 · 发表于 2011-7-22 09:58:24

离子源没有，只能从工艺上下功夫

filmokay · 发表于 2011-7-22 16:45:22

清洁，漏气

fasces9 · 发表于 2011-7-23 20:29:58

可以试试从温度下工夫，提高或者降低温度，然后对不同温度的3炉产品（正常、升高、降低）对比硬度

greenhaw · 发表于 2011-7-24 14:52:37

最外层可以试着换为Al2O3试试。

longmin · 发表于 2011-7-24 23:12:35

提高真空度
基板溫度提高

meilirensheng · 发表于 2011-7-25 09:06:36

whq197206 · 发表于 2011-7-25 13:52:40

提高基板温度

阿俊 · 发表于 2011-7-27 14:51:28

我的膜系是tio2与sio2叠加的，tio2的温度不敢太高。现在机台内实际温度为280度。太高或太低会导致膜强度不良，也就是膜弱

HGcoating · 发表于 2011-7-27 15:24:16

考滤下速率或换换材料，也许有帮助

filmokay · 发表于 2011-7-27 16:16:34

其实这个不能归结为硬度，是牢固度的问题

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