[求助]难啊!!急!! 

2004-5-19 05:09:00 | 显示全部楼层 | 阅读模式
哪位高手制备过80多层以上的超窄带滤光片(带宽1nm)?尤其对监控有什么特别要求,其次是温度控制,沉积速率控制,工件架旋转速率控制等等?不胜感激!!!
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nqh1978
2004-5-20 01:42:00
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