biomems

如何检测ITO导电膜刻蚀出的图案？ 

2004-5-10 01:17:00 | 显示全部楼层 | 阅读模式
请问如果利用ITO玻璃上的ITO导电膜刻蚀微电极，通过什么方法检测腐蚀后图案的好坏？谢谢
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2004-5-10 01:38:00

用显微镜看啊

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biomems
2004-5-10 21:34:00
但是ITO膜是透明的，如何分辨啊？
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2004-5-10 21:36:00

可以的，我们就是这么做的

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biomems
2004-5-11 19:14:00
好的，我试试看。谢谢！
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