[求助]请教高手:TiO2脱膜问题!?

downfallen · 2004-4-30 06:23:00

相同基底，温度下。ZrO2牢固性达标，TiO2在24小时潮湿试验后小范围脱膜。蒸发速率3.0。请教各位高手

wanhj · 2004-4-30 07:25:00

你用的是什么基才?

cjyzq · 2004-5-1 04:25:00

基底加温到多少度？恒温多长时间？

蒸发速率应 5A/s。

zheng · 2004-5-1 05:28:00

速度3.0也差不多了,那你放氧量是多少?只镀了单层TiO2吗?

cjyzq · 2004-5-2 01:58:00

放氧量是1X10-4。

material · 2004-5-2 14:51:00

使用熱蒸鍍嗎…有可能是油氣或是基板有不潔，造成脫膜…

zheng · 2004-5-2 06:42:00

你的单位是Torr吧,一般放氧量不应比1X10-4大,你可以把放氧量改为0.8X10-4或0.9X10-4试试，只要膜层不出现吸收就可一直改小放氧量。

downfallen · 2004-5-2 15:51:00

谢谢各位高手！我用的是K9的基底，加温300度，保持40分钟。e枪蒸镀。氧压3X10-2

测试用只做了单层的

对与错 · 2004-5-6 00:29:00

是OSIO吧镀时要在最后一层镀二氧化硅当保护膜才不会氧化

yin99 · 2004-5-6 00:57:00

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zjtzzy · 2004-5-7 23:45:00

膜层太厚或基片有问题。