怎么解决IRcut呈淡黄色的问题

fasces9 · 发表于 2011-7-15 17:35:56

我司用3台光驰机 GENER-1300 做IRcut 其中2台机子镀来了的产品呈浅黄色，有时好有时差，抓狂中，另外一台颜色正常。
试过很多方法了，氧气加了10sccm没有效果，光斑调整（担心打到铜上溅射上去）也没效果，温度250降到240和225也没效果（而且变得更糟糕），总体来说一段时间好一段时间颜色不正常。那位大侠有办法解决？期待中

ghtzna · 发表于 2011-7-16 09:57:35

m没有图片和分光数据用的药材和基板是什么真空度怎样还有就是清洗参数你这样笼统的是解决不了问题的

fasces9 · 发表于 2011-7-18 16:02:07

ghtzna 发表于 2011-7-16 09:57
m没有图片和分光数据用的药材和基板是什么真空度怎样还有就是清洗参数你这样笼统的是解决不了问题的

用的药材是TiO2和SiO2 基板是肖特D263T玻璃真空度开始镀膜前1.0E-3帕镀膜时候SiO2 1.5E-3，TiO2 2.5E-3 不是清洗的问题，因为其它产品没事，就镀IRcut有问题

mkzhanghao · 发表于 2011-10-6 11:49:57

3台机器时好时坏，有的可以，没有这种情况，应该是前段清洗的问题，有些清洗后看着没什么问题，镀膜了就显现出来了

小技工 · 发表于 2011-10-17 16:42:59

充氧不足

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