问题：非球面面形检测

damoco · 发表于 2004-4-9 09:46:00

请教：现在生产上都用什么仪器或手段检测非球面面形？

我做毕业论文是这个题，请各位发表一下言论

guangxuehao · 发表于 2004-4-11 16:51:00

去实习,实践一下不见知道了吗!

damoco · 发表于 2004-4-12 18:19:00

以下是引用guangxuehao在2004-4-11 8:51:54的发言：

去实习,实践一下不见知道了吗!

言之有理

luoyinlong · 发表于 2004-4-15 02:56:00

在要求高精度检测时，一般采用干涉仪，采用数字波面检测技术，即相位测量技术，该技术是以激光的波长来作为基准，精度可达百分之几个波长。ZYGO公司的产品，不过价格有点贵。

kkk · 发表于 2004-4-15 04:40:00

一般用輪廓儀檢查

damoco · 发表于 2004-4-16 18:08:00

輪廓儀的精度够么？测量时间长么？

opticliu · 发表于 2004-4-19 18:47:00

轮廓仪是通过接触是的测量，测量的时间一般较长。有些公司标榜的精度可以达到1nm。

damoco · 发表于 2004-5-22 04:23:00

原来如此。

现在的题目需要设计光栅测头，难那！

虽然手册上有结构图，但是看不懂啊！

liunaneleven · 发表于 2004-5-26 03:04:00

关于用轮廓仪检测非球面面形我很疑惑，轮廓仪不是检验表面粗糙度的吗？何时有检验非球面面形的功能了呢？非球面的面形我认为应该用ZYGO、WYKO、TAYLOR HOBSON的激光干涉仪检测。面形检测精度λ/30，λ/40都有，但价钱很昂贵。

z983112 · 发表于 2004-5-26 04:19:00

轮廓仪是现在高精度非球面加工的必备

但是如果没有也可以在截距上看弥散圆的方法。但很受限制。

zeoch · 发表于 2004-5-27 07:21:00

同意楼上的说法，轮廓仪是高精度非球面加工的必备，如果是与车床相匹配的轮廓仪则更好，例如Taylor Hobson公司的Taylorsurf轮廓仪，听说可以测非球面面形精度，粗糙度以及顶点曲率半径等，其精度可达到0。02微米。

zeoch · 发表于 2004-5-27 07:32:00

请教：有谁知道面形精度的定义吗？Ra是平均粗糙度吧，那么面形精度如何表示呢？