[求助]关于氧气压强的控制

vietti

不太懂这一行，问两个粗浅问题：

1.一般通氧气是通过压强控制仪来控制，压强控制仪上的控制压强应该是指阀口附近的压强吧

而测真空室的真空度的电离计好像是在真空室外分子泵附近吧，

二者的压强值肯定不一样。控制氧气比如2×10－2Pa应该以后者读数为准，对吗？

2.如果加上个离子源，先通2×10－2Pa的氩气，要保持2×10－2Pa的氧气含量，通氧气后

真空度应该为4×10－2Pa，对吗？

zz

一般O2是流量计

先弄清是恒压还还恒流系统

vietti

Ar气是流量计，氧气是压强控制

zz

不同区域的压强肯定不一样了。

yh15430

不同部位测量，当然真空计的读数也不一样啦！

coatingli

是这样的，氩气和氧气一般用流量来控制比较科学

lorniale

我们以什么根据来判断我所用的流量是合适的呢？

还有我觉得我的机子上只有一个流量计的啊，那应该是不可以既通氧气又通氩气的了。

zz

弄个转换阀就可以了

royyang

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