一个关于真空计的问题？

E501559 · 发表于 2011-7-6 08:49:01

有这么一个问题，让我困扰了很久，就是：我们镀的是多层膜，前面几层都正常的镀完了，但到最后一层（最后一层用离子源和电子枪），先打开离子源，待离子源参数稳定后，打开氧气阀门，将氧气调好，然后开始镀膜，就在这时，点击开始镀膜，就在一分钟内，真空控制器的高真空（GP307控制器）显示会跳掉，以至于导致电子枪高压和氧气阀门也跳掉，再将真空计开启，重新开始，还是反复的有类似状况，不知道是怎么回事？请大家帮忙研究研究！请大家跟帖！

shuangzixing · 发表于 2011-7-6 10:38:54

最后一层跟镀用的啥材料。原来冲氧是多少。最后一层用的是氩气还是氧气

E501559 · 发表于 2011-7-6 12:36:02

shuangzixing 发表于 2011-7-6 10:38
最后一层跟镀用的啥材料。原来冲氧是多少。最后一层用的是氩气还是氧气

最后一层镀的是二氧化硅，同时也要用离子源，充氧1.0

HGcoating · 发表于 2011-7-6 13:38:54

前面是否有二氧化硅膜层，试试冲气里调小点，或者不加氧气看是否有变化

E501559 · 发表于 2011-7-7 08:38:03

HGcoating 发表于 2011-7-6 13:38
前面是否有二氧化硅膜层，试试冲气里调小点，或者不加氧气看是否有变化

前面没有二氧化硅的膜层，前面镀的是氧化铬和黄金，最后一层才是二氧化硅！

E501559 · 发表于 2011-7-7 08:41:37

后来，我弄明白了，我把GP307 真空控制器换了一个，试用了两天，发现没有类似现象，所以我想应该是控制器的问题！不知道大家有没有维修过控制器，我了解到真空计控制器可以拿到相关公司进行校准！不知道是否可以！

xiao2011 · 发表于 2011-12-18 10:33:13

272813953 · 发表于 2011-12-18 22:39:04

你冲氧气是看看真空度几多啊？？？

WEI爱依旧 · 发表于 2012-1-11 23:02:34

[原创] 一个关于真空计的问题？

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