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光学模块包括光源和探测器。 LAS采用激光作探测源，激光器的波长可以根据被测对象，选择可见或红外光。激光通过固定焦距的镜头，入射到被测镜头的上表面或下表面，由镜头表面反射回来的光聚焦在探测器，形成测量反馈光斑。
回转样品台的基座是一个空气轴承转台，具有可调倾斜的自对心夹具，可以调整被测的透镜，使其外壳机械轴与测量光束共轴。
光学模块发出一束聚焦的激光光束，这束光束与空气轴承的旋转轴是精确对心的。
光学模块发出了一束聚焦的光束由测量样品表面反射后，成像在CCD靶面上。如果被测表面恰好在中心，反射的光束在观察界面产生一个在中心固定不改变位置的光斑。若测量的表面不在理想的中心，反射光束的光轴会和理想的中心轴线间产生一个夹角，在观察界面上的反射光斑就会偏离中心位置。旋转空气轴承，这个偏心的光斑就会围绕着CCD的中心旋转。在观察界面看到的反射光斑轨道半径，与样品的倾斜程度成比例，而与它的曲率半径没有关系。
详情请参考 http://opturn.blog.sohu.com/149083067.html
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发表于 2011-7-5 23:49:21
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