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[讨论] 阻抗问题讨论

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发表于 2011-6-29 20:07:14 | 显示全部楼层 |阅读模式
在DC sputtering时，有一个参数是Impedance范围0-10000，请问如果过程中如真空度过高或功率很低引起阻抗很大，意味着什么，会不会对电源有损害？
真空度

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