关于光学镀膜机均匀修正板的设计

mickel · 发表于 2011-5-6 18:27:05

镀膜机均匀修正板如何设计，依据是什么？

qjy · 发表于 2011-5-6 18:56:48

这个问题很少有人真正懂，真正懂的人一般也不会轻易告诉你，即便想告诉你也不是在这里几句话能说清的，即便说清了你也不一定能看明白，所以说在这里问这问题等于白问！还是好好静下心来研究一下吧，要不就好好拜个师给你传授一下

jobstyle · 发表于 2011-5-6 19:10:40

高深的知识呀来高人

longmin · 发表于 2011-5-6 20:43:18

經驗很很重要

qjy · 发表于 2011-5-6 21:07:55

这个问题不只是经验的事情，更需要理论的指导，单靠经验做的档板可以起到一定的作用，但精度不会高

ngfcaipiao · 发表于 2011-5-28 21:05:54

精度要求不高的话，可以多做几炉实验片，慢慢修建！

fql3310 · 发表于 2011-7-23 14:59:53

这个问题啊，不会那么难。单个电子枪的就只要一个修正板，放于膜料最上方。如是两个电子枪就放于每个电子枪膜料最上边（国产机这种设计的很多）。也可以用公共的修正板（放于百叶窗那边，那种设计在APS904镀膜机上见过）。修正板的作用就是把工件盘里的所有的片子厚度修得差不多一样就是了。从单一膜料开始修正（高拆射率材料）。厚度选500纳米或少点吧。然后再修SIO2，膜系可以这样（HL）^2 H 4L H (LH)^2 L,这个其实就是这样。不管什么机器，几个电子枪就几个修正板（也可以用公共修正板）。有见过两枪共镀或三枪共镀的，这种修正板另外说。高拆射率材料修正板可修得少点。这样拆射率可以做得高点。修正板可以修到5纳米以下。

fql3310 · 发表于 2011-7-28 19:32:14

QQ:123831403

wangjg8955 · 发表于 2011-8-25 22:18:31

学习中！

xiaolan125 · 发表于 2012-3-16 15:21:49

很难

446834285 · 发表于 2012-3-17 08:14:26

MASK没有一成不变的，随着设备的使用周期会逐渐产生变化。。首先，你的知道一些最基础的理论，然后练手感（所谓的经验）。。。我这里有UNIVAC公司关于MASK调节的指导丛书，找时间传上来。。你多关注一下便是。。。

fucheng01111 · 发表于 2012-4-12 00:57:40

[讨论] 关于光学镀膜机均匀修正板的设计

浏览过的版块