用于陶瓷划片的激光器的介绍

zgzxb · 发表于 2003-3-15 08:16:00

用于陶瓷划片的激光器主要有脉冲二氧化碳激光器、自由振荡脉冲Nd：YAG激光器、声光调Q 的Nd：YAG激光器和准分子激光器。
自由振荡Nd：YAG激光器的光束功率和脉冲宽度较小，光功率密度较大，聚焦性能较好，对工件的热影响小，所以可以用来加工易受温度影响的SiC陶瓷等，但Nd：YAG激光器的总体效率较低，约3%左右，而且光束模式较差（多模），发散角较大（5～20mrad），氧化铝陶瓷对1.06μm激光辐射反射强烈，加工效率较低，一般要求在较低的速度下进行。
声光调Q的 Nd：YAG脉冲激光器输出激光脉冲宽度可以很窄，峰值功率大，重复频率高，加工陶瓷的表面质量好，表面粗糙度小，但是加工效率很低，很难用于对氧化铝陶瓷基片的大批量加工。
对于准分子激光器，最近才使用它的紫外线波段来进行加工，由于它具有很高的功率密度和很好的聚焦性能，相对于Nd：YAG激光器来说能获得更小的切缝宽度和更细的表面粗糙度。但准分子激光器由于性能尚不稳定，维护困难和功率小等原因还没有在陶瓷加工中得到广泛应用。
二氧化碳气体激光器输出平均功率较大，插头效率较高，在10～15%之间，输出的光束质量较好，可以采用飞行光路系统来改变光束的指向，加工范围或方位灵活多变。且陶瓷材料对10.6μm激光辐射吸收强烈，能量利用率高，加工效率高。

guoxiaoyao · 发表于 2003-3-18 17:39:00

如果是3mm的氧化铝陶瓷片，用什么样的激光器合适呢？谢谢指教！

alanick · 发表于 2003-3-18 17:49:00

可能还是用CO2的比较好

emma · 发表于 2003-3-29 02:37:00

Regis · 发表于 2003-3-29 03:50:00

坛主您能否对CO2，YAG，UV在微加工方面的异同点吗

CIOM · 发表于 2003-4-5 23:54:00

CO2激光器可以采用飞行光路系统来改变光束的指向？？？？？？？？？？？？？

如何做成光路系统？？？？

我还没听说过，请指教！

大家为何不说光纤激光器也可以划片呢？不知道？北京11所就在采用这样的机器呀？

alanick · 发表于 2003-4-6 00:15:00

不知道11所做的是用于哪方面的划片？是陶瓷还是硅片？性能指标怎么样？

CIOM · 发表于 2003-4-6 22:01:00

都有！

mazhajing · 发表于 2009-5-21 17:22:24

是用打标机还是切割机还是划片机啊？我上次有个客户问我我都不知道用什么机器

用于陶瓷划片的激光器的介绍