关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

michaelzhj

各位大侠,我有一个问题求教:
由于市场上没有双面抛光的Si基片,所以只有在一面抛光的Si基片上镀制光学薄膜,但是我又想测试薄膜的透射率,单面抛光的Si片由于散射很严重,所以透射很小,肯定得不到薄膜的真实透射率.

我该采用什么办法获得薄膜的透射率.
谢谢您的指点,我很迷茫.我的电子邮件是:michaelluvzhj@hotmail.com

michaelzhj

我的问题这么难吗，大家都没有回音，我想你们啊

ic5

能否测试镀膜后的反射，从而看作理想的透射率，虽然这样不太真实，但对于高透过来说，测试其反射更直接！

michaelzhj

论坛斑竹给予我的建议，就是忽略了反射吧，颇有新意，决定一试！
如果好使，我通知你。

ic5

谢谢，等待你的好消息，如果还有什么问题，愿意交流！

michaelzhj

其实对于这个问题，我有一个更大的疑问：

如果仅仅依靠反射率来推测薄膜的透射率的话，我更可以直接依靠其试样总的透过率来推测啊，而不管这透射率到底有多高，甚至10％都行，这更能够显示出来薄膜透过率的规律。

你知道这反射率和透过率之和为1，这样得出的结论不恰恰矛盾了吗？

wazxq

我看到你说的单面抛光，又能测试透射，莫非另外一面也能透光了
这样的话，测试反射也是不准确的呀。
在SI上，是不是远红外波长啊。您的镀膜材料可能有吸收，以反射推透射意义不大

你不如在镀好的片子上，将另外一个面抛光一下，做个实验

michaelzhj

另一面没有抛光，但我想，这多多少少也能够反映薄膜透射率的规律吧，即使很低很低。
我所做的波长范围在8到11.5个微米
关键是薄薄的硅片，很脆，禁不住再次抛光（这可能也是市场上没有双面抛光的si片的原因吧），并且我镀的膜很薄，只有0.5个微，几乎在厚度上无济于事，这可怎么办？

Jesus

朋友，你可不可以考虑在其他折射率基底的陪片上镀同样的膜系，然后根据该陪片的测试曲线针对基底折射率进行曲线的拟合，从而判断膜的指标呢?

michaelzhj

不同的基片镀出的薄膜各种性能也肯定不一样的，您说的拟和我还不是太了解，能详细说一下吗，谢谢你了。我的主耶稣啊！呵呵

michaelzhj

您说的是陪片，很好的建议！但这样容易运用数学手段进行拟和吗？

zhchqphchz

我有一个拙见：可能的话，先测出未镀膜情况下的同厚度的硅基片的透过率情况，再在同样的情况下测出镀膜后的透过率，据此可得膜的透过率。这种方法忽略了光在硅基片与膜的界面处的可能的散射。在散射不太大的情况下，可能行。
这只是我的拙见，不知是否行得通。