求助！为什么膜会裂？

bessie0151

哪位高手可以告诉我，为什么双面镀膜时，当镀第二面时，第一面会发生膜裂现象？
多谢！  

ycxmy

第一面镀的是什么膜

liumengdrago

我想主要是应力的问题，想办法解决一下就可以了。

skipper

同意楼上朋友的看法， 从成膜温度，成膜后的处理等方面着手进行些试验试试

bessie0151

第一面做的是截止滤光片，成膜后要怎么处理才能减少应力而不增加散射呢？

Jesus

可以考虑在高于成膜温度的烘箱中做退火老化处理，但对散射有无影响我不清楚，你要自己试下。第一面也是你们自己镀的膜吗？然后翻面镀制第二面的时候膜裂？

bessie0151

当然第一面也是自己做的。可是间隔时间较长。
为什么要在高于成膜温度的烘箱里做老化处理呢，能否简单解释一下，多谢！

HANZIXUN

在薄膜制成后，性质是会逐渐变化的，在沉积的过成中薄膜分子从气态到固态的变化太快，会有不同的缺陷产生，薄膜的沉积过程太复杂，不是几句说的清的，高温的退火老化也是为了改善薄膜的内部缺陷，理论方面的要去看资料了，反正在实际中可以提高牢固度和抗潮能力，也可以适当调整一下制备参数，不过怎么调整我也不好说，大虾们发表点意见哈

bessie0151

谢谢！受教了.

hakuto

在第一次成膜时，如果水汽的问题没解决好，也可能产生膜裂

wbw

你具体用什么镀膜方法的？

zhuhhui

我想也是退火会好些！