请教关于薄膜厚度测量的一些方法和仪器（纳米级）

idodi

或者介绍一些这方面的资料也好，谢了。

ic5

目前最好的方法就是光控法,在本网站的技术资料中有些介绍性的文章.

bessie0151

ic5晶控和光控同时进行将会更好！

slyz

我只知道，
最好的是椭偏移（公认的）
其次是台阶仪
在由就是利用光普法（投射，反射），（我有一个小程序，透射法的可以送给你用）
肯定不会有版权问题，呵呵！

brian

slyz 兄,可以发给我吗?我的邮件是nqh1978@163.com,谢谢

Jesus

透射光谱法测膜厚？单层还是多层都可以测？

idodi

这种办法到不错，只是不知道什么原理，slyz兄能简单的介绍一下？

冲浪高手

本公司有仪器可测量,精度可达10nm级

carry

石英晶控可以达到0.1nm级别，我们用的就是。

wbw

下面引用由slyz在 2003/09/06 03:00pm 发表的内容：
我只知道，
最好的是椭偏移（公认的）
其次是台阶仪
在由就是利用光普法（投射，反射），（我有一个小程序，透射法的可以送给你用）
...

基本同意，椭偏法测膜厚好是好，但是如果膜系比较复杂，不熟练的话是测不准的，从实用上来讲，我觉得还是台阶仪好，光谱法测膜厚现在的一些分光光度计就是用此方法，我个人认为这是很好的方法，但是测得准不准好不好还要看光路的设计还有软件的设计。slyz，把你的小程序发给我好吗？wbw99@163.com,谢谢。