[讨论]膜料受潮对膜层的影响

likeoe

是不是做Al2O3材料？从我们经验，Al2O3材料出现这种问题最明显。

风寒雪月缺

AL2O3为什么会出现这种现象，我用的确实有这种料，但以前从没有过这种问题。

尤里卡

likeoe 兄能否具体说一下Al2O3出现的问题及如何解决的？
我认为一般的氧化物膜料都有一定的抗潮性，一般是不会受潮的，至于混合膜料是否容易受潮要分情况看待，有些可能会受潮。但花斑的产生是否与膜料受潮有关还很难下定论。

尤里卡

把认为受潮的膜料放到烘箱里烘他个二、三百度四、五小时，密封保存，那就不用再考虑膜料受潮了吧！实在不行一周烘一次膜料，总不至于膜料赶上硅胶吸水快了，如果还认为吸水严重，那样就把膜料当干燥剂用吧！

likeoe

我认为Al2O3的熔点比较高，在蒸发过程中，其致密性可能比较差(主观判断，没有数据证实，但从白片上镀Al2O3时，光学走格中，其读数不变或倒走现象时有发生，这就是旁证)，待基片取出后，可能吸水现象比较明显，花斑比较明显，但放置几天后，可能是由于扩散的原因，花斑在一定程度上减弱，但不能完全消除。解决办法也没有找到彻底的方案，从提高沉积速率，提高致密度上考虑，可能会有所帮助，要是谁能解决了，不妨交流一下。

尤里卡

“从白片上镀Al2O3时，光学走格中，其读数不变或倒走现象时有发生，”用此现象来说明Al2O3的致密性不好，理由不充分。

虚心请教

膜料受潮放气大，膜片散射较严重。

ofeiying

我认为还是镀完后吸潮引起的,镀膜时真空室内的高温足可以使水蒸发,又怎么会附着到零件表面呢!?

wql771201

AL2O3属两性氧化物，化学稳定性差，也易受潮。我这边就发生镀膜完品受潮后腐蚀。

hakuto

我处有日本进口防潮箱，可解决膜料及成品的受潮问题。如需详细资料，可致电：010-6566-0071或发e-mail:andyliu@hakuto.com.hk 刘先生