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急需帮助!银+三氧化二铝
用于可见光区的银反射膜必须保护起来,一般用MgF2,Al2O3,SiO2,还可用铜,也可采用下列的结构:
空气/SiOX/Al2O3/Ag/Al2O3/玻璃
与玻璃接触的Al2O3能解决银膜与玻璃接触不牢的问题,厚度约为900Å,外层Al2O3膜做SiOX与Ag的附着层,厚度为300Å,外层膜在5—7X10-5Torr真空下,以6--8Å/S的速率沉积,内层膜则要求在较低的压强下以较快的速率沉积。银膜用钨舟加热蒸发,其厚度为800-1000Å,淀积速率控制在100-200Å/s,SiOX解决了Al2O3膜对湿气不能提供保护的问题。SiOX由钨蒸发源反应蒸发一氧化硅而制备,其厚度为1500Å左右,在7—9X10-5Torr氧压下以3--5Å/s速率进行淀积。
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