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光学监控 和石英晶体监控,孰优孰劣的问题,一直在讨论,竞争中不断发展,其实两者各有优点缺点,相互竞争中慢慢变为相互补充。先进的镀膜机设备往往同时具有两套监控系统。
但是未来镀膜机发展,不但要向高精度的膜厚监控技术发展,更要向高精度膜层折射率的监控技术发展。否则,研究了再好的膜厚监控技术,也无济于事。
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