谈谈APS源

hgw2001 · 2003-6-26 23:35:00

这是莱宝公司的先进离子源。主要的配件有石墨、阳极筒、LaB6、氮化硼。

hgw2001 · 2003-6-26 23:40:00

阳极的作用：等离子体在电场的两极间产生，阳极构成电极，同时阳极还作为内燃室，激发等离子膨胀，偏转线圈用于排列在阳极里等离子。由于平行于阳极的线圈产生磁场，并防止阴极产生的电子直接流入阳极，取而代之，经们沿磁力线螺旋前进。

hgw2001 · 2003-6-26 23:44:00

阴极LaB6组成。用途是：等离流在电场的两极产生，阴极组成负极。阴极的任务是巨大的热量作用下产生电子，阴极通过与之相联的加热器间接加热。

hgw2001 · 2003-6-26 23:48:00

石墨的主要作用是用来间接加热LaB6的。由于如果对LaB6直接加热的话很容易让LaB6
破裂。所以先用加热器加热石墨然后由石墨辐射出热量来间接加热LaB6。使LaB6产生电子。

ic5 · 2003-6-27 00:41:00

APS源是看作点源好还是面源好？

hgw2001 · 2003-6-30 04:49:00

当然是面源啦。不然你的膜厚能均匀吗

ventura · 2003-6-30 16:48:00

APS不单卖呦

ic5 · 2003-6-30 19:53:00

但APS的离子束发散角很大，发射孔径有小，所以我认为APS源看作点源更合理，不知道这样认为对否，请赐教！

hgw2001 · 2003-7-1 18:29:00

我觉得可以这样来看。分两个阶段。一是离子在阴极和阳极间时这时可看作是点源。出了这个范围后。同于是向各个方向轰击的。这时可看作是面源。

张三 · 2003-8-15 05:19:00

我司有啊