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再谈基片清洗
应该说,使用超声清洗的主要参数就是功率,或更确切的说,是清洗池内被清洗件表面处的功密度大小,它直接影响到超声声强大小。声强大小又是直接影响空化效果的因素,所以在选择超声清洗时应该特别注意功率的大小。
超声波清洗效果不一定完全与功率×清洗时间成正比。可以想象,有时用小功率的清洗机,花费很长时间也不会有特别明显的效果。如果功率达到一定数值,则可以很快将污垢去除。但如果功率过大,空化强度将大大增加,清洗效果是提高了,但会使较精密的零件产生蚀点,得不偿失,而且清洗缸底部振动处空化严重,很容易受到水点腐蚀,减少超声波清洗机的寿命。太高的声强会造成空化气泡过多,形成声波屏障,使声波不容易传播到整个液体空间。在远离声源的地方,声波强度可能会减弱很快,不能形成有效的清洗。 |
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