蒸镀的加热方式包括那几种?各具有何特点?

零距离

加热方式分为：
(1)电阻加热 (2)感应加热 (3)电子束加热 (4)雷射加热 (5)电弧加热;

各具有的特点：  
(1)电阻加热：这是一种最简单的加热方法，设备便宜、操作容易是其优点。  
(2)感应加热：加热效率佳，升温快速，并可加热大容量。
(3)电子束加热：这种加热方法是把数千eV之高能量电子，经磁场聚焦，直接撞击蒸发物加热，温度可以高达30000C。而它的电子的来源有二：高温金属产生的热电子，另一种电子的来源为中空阴极放电。
(4)雷射加热：激光束可经由光学聚焦在蒸镀源上，产生局部瞬间高温使其逃离。最早使用的是脉冲红宝雷射，而后发展出紫外线准分子雷射。紫外线的优点是每一光子的能量远比红外线高，因此准分子雷射的功率密度甚高，用以加热蒸镀的功能和电子束类似。常被用来披覆成份复杂的化合物，镀膜的品质甚佳。  
它和电子束加热或溅射的过程有基本上的差异，准分子雷射脱离的是微细的颗粒，后者则是以分子形式脱离。
(5)电弧加热：阴极电弧沉积的优点为：

(1)蒸镀速率快，可达每秒1.0微米                                                   

(2)基板不须加热                                    

(3)可镀高温金属及陶瓷化合物                                   

(4)镀膜密高且附着力佳

十二阿哥

受教了，谢谢楼主

yeli123c

不是很细的感觉，等会去百度下，看看。。。