环抛单晶硅能达到的指标

hushujiang

哪位同仁可以告诉我，环抛3”直径，5mm厚度的单晶硅，通常可以达到的平行度（或TTV）是多少？两面的光圈可以做到多少，如何避免塌边？
谢谢！

polisher

环抛的DP法抛光，理论上讲可以达到想要的平行度，本人也想实践一下。而环抛的CP法抛光本人有一定的实践经验，即可单独自整形，也可分离法抛，其平行度与两面光圈与抛玻璃件近同，问题在于测不透可见光的硅，您有否合适的装置。

hushujiang

测量平行度，可以用测量TTV代替；测量光圈用光学平晶。

mincailiu

5mm厚度的单晶硅用光学平晶测量光圈？建议用干涉仪检验好些，普通目示干涉仪就可以了。

crystallqj

你们用什么研磨粉抛光单晶硅的？请看一下我的贴子，看我们公司的产品是否有用。
我们生产精密研磨微粉（等同于Fujimi的PWA和FO），用于抛光硅单晶、光学玻璃、LCD等

cjx

可以做到两秒内。光圈0.1圈

xyqy

下面引用由polisher在 2003/06/11 10:21pm 发表的内容：
环抛的DP法抛光，理论上讲可以达到想要的平行度，本人也想实践一下。而环抛的CP法抛光本人有一定的实践经验，即可单独自整形，也可分离法抛，其平行度与两面光圈与抛玻璃件近同，问题在于测不透可见光的硅，您有 ...

能不能说得明白一点，什么是“DP法抛光”和“CP法抛光”？

mincailiu

CP抛光指常见的环抛机抛光；
DP抛光指双行星型抛光机抛光。
有兴趣可以查：OPT.ENG.-1976，15（5）.-407-415

xyqy

To:mincailiu
  谢谢指教！！