油扩散泵抽速不稳定？

fawang · 发表于 2011-9-7 19:34:41

兰州真空的油扩散泵，K-400T

ghtzna · 发表于 2011-9-8 10:25:19

该保养了或者确认阀门有没有漏气机台不保养是不行的

wangxudong1227 · 发表于 2011-9-8 16:50:51

油品有问题。建议更换油试下。
我这边有出现过刚保养了的扩散泵，在2.5E-4Mbar 抽速不稳，更换油后OK。

sery1234 · 发表于 2011-9-9 09:19:45

三年没保养你强悍，600SCCM 不是做光学的吧溅射的设备？哪你就用分子泵好了分子泵的优点就是抽速稳定，扩散泵抽速没那么稳定，特别是大气量加进去的时候，这个时候你还要求稳定在1个sccm以内，会有问题哦，嘎嘎，狂言乱语多指教，

fawang · 发表于 2011-9-10 21:20:13

sery1234 发表于 2011-9-9 09:19
三年没保养你强悍，600SCCM 不是做光学的吧溅射的设备？哪你就用分子泵好了分子泵的优点就是抽速稳定，扩 ...

哈哈,没办法,老板说不用保养,说保养了泵芯装的位置不好反而起反作用,能力有限,说不过老板。当然不是光学镀膜了，我倒希望是光学镀膜了，那样作出来的产品一个都卖不出去，他就会知道世界上其他人总结的保养经验不是白总结的。可我也没要求稳定在1SCCM啊，流量计也没那么精确拉（量程是1000SCCM的）。分子泵是抽速稳定，可惜没钱，当初老板被人忽悠了，用买分子泵的钱买了装扩散泵的镀膜机。不过替老板也说句话，兰州真空的泵芯是铝做的，工人保养时不上心的话会将泵芯弄变形，这倒会使扩散泵起反作用。

fawang · 发表于 2011-9-10 21:22:58

wangxudong1227 发表于 2011-9-8 16:50
油品有问题。建议更换油试下。
我这边有出现过刚保养了的扩散泵，在2.5E-4Mbar 抽速不稳，更换油后OK。

哈哈，没用的，拆下后泵芯上别人是油垢，我们是沥青一样的东西，哈哈，第一次见，无语！

wangxudong1227 · 发表于 2011-9-11 12:09:22

fawang 发表于 2011-9-10 21:22
哈哈，没用的，拆下后泵芯上别人是油垢，我们是沥青一样的东西，哈哈，第一次见，无语！

```沥青····3年没保养果然 NB···

gxfdllg · 发表于 2012-3-22 16:32:42

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