油扩散泵抽速不稳定？

fawang · 发表于 2011-4-3 12:21:18

各位大侠，请问油扩散泵如果3年没保养过（仅加油或换油），镀膜室内充气体（固定流量600SCCM），会不会出

现镀膜室压力时高时低（从2mtorr到3.2mtorr），也就是抽速不稳定这种现象？因为以前没出现过，当

然也可能是漏气，但我想问如果不漏气的情况下会不会出现这种情况？谢谢！

fawang · 发表于 2011-4-11 15:11:46

如果不放气体时，压力并不会变化，而且流量计读数也正常，没发现问题。

这里的帖子也会沉？大侠们，出来换口气塞！

whpe2000 · 发表于 2011-4-12 10:50:53

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fawang · 发表于 2011-4-12 13:11:07

哈哈，以前没出现过这样的问题，其它工艺条件都没变，而且其它几台镀膜机也没出现这样的问题。

flashamity · 发表于 2011-4-14 15:12:53

13331858837,打这个电话问问他懂不懂,他是做真空设备维修和保养的.如果知道一定会告诉你的,祝你好运

fawang · 发表于 2011-4-16 00:04:18

哈哈，谢谢！

ase11132 · 发表于 2011-8-5 01:52:09

ghtzna · 发表于 2011-8-7 10:42:14

什么机台啊充这么多的气体

奋斗 · 发表于 2011-8-7 21:28:47

这个有问题

fawang · 发表于 2011-8-8 22:28:29

都别有问题啊,说说有什么原因啊!

monggugi · 发表于 2011-9-7 11:09:33

是不是用的时间长了泵内有水份了啊用一段时间要放放水的啊

wangxudong1227 · 发表于 2011-9-7 14:40:21

600SCCM?!
能说下什么设备么？大家好分析点

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