怎样估算折射率和膜厚（新）

Jimmy_tang

我今天做了一次Al2O3（基底为石英）的测试，结果是两个极值点分别是1162nm和396nm，这该怎么算啊？两个极值的比值都是3了。
晕，弄懂了。我把两个相邻极值点理解为两个相邻极大值点了。难怪出错。

Jimmy_tang

镀的厚度还需要多增加一些，才方便计算吗？

Jimmy_tang

我用Nb2O5在550nm走了4个极值，得出如下的图形。可按照计算，这里却成了5个1/4波长厚度，怎么回事啊？
图里面是测的反射率，3个极大值点分别为875,544,408，2个极小值点为669,465。

Jimmy_tang

用TFC模拟了一下，完全一模一样嘛，就是5个1/4波长厚度的时候的形状。
难道我的镀膜机对Nb2O5的tooling值有1.25？
我把常用的几个物料都拟了一遍，似乎感觉测量出来的都多了一个1/4波长厚度？是不是我弄错了什么基础概念？
还是例如Nb2O5，
初始设定值（一个较小值）->极大值->极小值->极大值->极小值，
这算是4个1/4光学厚度，还是5个1/4光学厚度？

xiazg

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Jimmy_tang

我的晶控仪坏有一段时间了，一直用的光控。晶控仪修也不是，不修也不是。。。

rayland

sery1234 发表于 2011-4-1 08:49
大家踊跃点哦，关于膜层的损耗问题的计算，那位有什么高见，求赐教！

估算膜厚与折射率，这个方法是有效的。以前就是这么做来的。

但膜层损耗，恐怕还是需要用软件来反向模拟。
如果没有反向模拟软件，或假定一个系数，用软件正向计算，眼睛看结果了，呵呵。

单从透(反)射率曲线 几个极值点的值，信息量太少。 即使可以计算，成膜均匀性、散射、测量误差等等因素， 都会带来计算偏差。再退一步，即使没有这些影响，又如何区分 折射率变化 和 损耗对 测量值的影响。

吸收同样存在色散，假定遵从某个近似方程。通过多点拟合，近似得到方程的系数。 选择不同近似方程，得到的结果也会不同的。

rayland

Jimmy_tang 发表于 2011-11-3 15:28
我的晶控仪坏有一段时间了，一直用的光控。晶控仪修也不是，不修也不是。。。

你的估算是没有错的。头脑里清楚，极大与极小是奇数还是偶数个，列个方程就可算出，当然还需要近似。 注意选取监控波长附件的极值波长。以减小色散影响。

那个昵称 "**xtc"的，是***/*晶控仪的砖家。修的话可找他一试。

sery1234

Jimmy_tang 发表于 2011-11-3 15:28
我的晶控仪坏有一段时间了，一直用的光控。晶控仪修也不是，不修也不是。。。

最近有的时候没上来 看了你这么多没有回复，抱歉，我的qq441487115 有问题给我发个消息，大家一起交流。

yong0009

kingpeter

sery1234 发表于 2011-3-26 10:34
镀个较厚一点的单层膜，根据极值点（膜比基底折射率高的看极小值，膜比基底折射率低的看极大值，并且选取长 ...

真的很难得！感谢楼主的分享！

Jimmy_tang

sery1234 发表于 2011-11-5 10:27
最近有的时候没上来 看了你这么多没有回复，抱歉，我的qq441487115 有问题给我发个消息，大家一起交流。

好的。我QQ241576438，加你了。