各位高人,如何提高表面面型的测量精度

宝宝 · 发表于 2004-2-12 00:20:00

由于测量面形时,系统误差很大如何去处?[glow=谢谢[/glow]

夏冬瓜 · 发表于 2004-2-12 02:52:00

试试轮廓仪来测面形吧

宝宝 · 发表于 2004-2-12 17:08:00

我用的是zygo干涉仪，要求测量精度优于1/20wave

lczhy00001 · 发表于 2004-2-12 18:29:00

下面引用由夏冬瓜在 2004/02/11 06:52pm 发表的内容：
试试轮廓仪来测面形吧

新上路 · 发表于 2004-2-15 07:11:00

绝对检验精度最高 1/100 波长

laowupo · 发表于 2004-2-15 10:56:00

下面引用由宝宝在 2004/02/12 09:08am 发表的内容：
我用的是zygo干涉仪，要求测量精度优于1/20wave

1.其实ZYGO干涉仪测量精度要看是国产还是进口
2.1/20的可以测量

lzk · 发表于 2004-2-15 18:21:00

一般ZYGO公司的标准镜的精度也就在0.05左右，如果是要测量1/20的精度的话，环境、温度、振动都要求非常的严格。而且在测量过程中测量的范围选定也很关键。如果你要测量的面积在95%以上的话可能有很大的困难。因为他处理的时候会将边缘的误差计算在内。

jackonlee · 发表于 2004-2-23 22:44:00

wyko可以测量吗？

xdj · 发表于 2004-2-24 04:03:00

wyko可以测量zygo干涉仪也可以测量

jackonlee · 发表于 2004-2-24 04:22:00

真的吗?可我不知道怎么测?看样子真要研究研究.谢谢!能说明确一点吗?

超光滑 · 发表于 2004-3-1 23:56:00

请问：那为师兄可以给我介绍下有关sic的一些知识（物理化学特性和光学加工方面的）谢谢！

jackonlee · 发表于 2004-3-2 02:17:00

是的，可以测量。可是有很多参数没有弄明白，看来还得邀请专家来给我们上课。