蓝宝石衬底氮气退火的问题

Moonish_潇 · 发表于 2011-3-11 09:31:03

给蓝宝石衬底进行氮气退火之后，会在衬底片边缘形成一些点滴凝聚状的物质，附着在边缘，跪求大虾问题原因及解决办法！

yingmuxiao · 发表于 2011-3-11 09:31:04

可能是氮气退火炉里SiC棒在高温条件下挥发出的物质与Al2O3发生反应生成的，你给蓝宝石衬底退火时弄成密闭的隔掉挥发物，就应该没事了。

Moonish_潇 · 发表于 2011-3-11 09:35:37

跪求解！！！

Moonish_潇 · 发表于 2011-3-11 09:35:41

跪求解！！！

Moonish_潇 · 发表于 2011-3-11 15:00:30

回复 yingmuxiao 的帖子

谢谢楼上，查了下资料，应该是这样的问题

jdx1981 · 发表于 2011-3-11 15:30:04

学到了

金刚铁嘎嘎 · 发表于 2011-3-22 10:01:36

1111111111111

45° · 发表于 2011-3-22 11:32:07

mumu4273 · 发表于 2011-10-31 20:33:02

把那凝聚状物，电子探针测下就清楚了

wxjfdw · 发表于 2012-3-10 08:37:09

学习学习

[技术] 蓝宝石衬底氮气退火的问题