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[技术] 检测粗糙度

 火... [复制链接]
发表于 2010-11-4 15:23:45 | 显示全部楼层 |阅读模式
对于高精度的表面,检测粗糙度的手段一般都有哪些啊?
发表于 2010-11-4 21:41:15 | 显示全部楼层
能够讲一讲要求吗?
 楼主| 发表于 2010-12-9 11:35:18 | 显示全部楼层
粗糙度在nm以下
发表于 2010-12-10 11:19:01 | 显示全部楼层
白光干涉仪
发表于 2010-12-10 14:22:06 | 显示全部楼层
用ZYGO轮廓干涉仪
发表于 2010-12-16 13:03:59 | 显示全部楼层
干涉仪,有很多品牌!表面探伤仪
 楼主| 发表于 2010-12-24 16:49:43 | 显示全部楼层
有人用原子力显微镜检测过吗
发表于 2010-12-24 16:55:36 | 显示全部楼层
太多了 !泰勒的轮廓仪, 白光都可以测
 楼主| 发表于 2010-12-24 17:03:46 | 显示全部楼层
其实不管是ZYGO还是talyorhobson,都是以白光干涉为原理的,现在就想知道有没有人用原子力显微镜测过。谢谢

评分

参与人数 1光电贝 +2 收起 理由
armyzhou + 2 原子力显微镜的检测范围受限,操作性价比不.

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发表于 2010-12-25 16:37:20 | 显示全部楼层
表面粗糙度检测仪好像有现成的产品,生产现场和工作表面进行高精度测量分辨率0.005um
发表于 2011-1-18 21:03:27 | 显示全部楼层
用原子力显微镜测过,和白光干涉仪比对不上
 楼主| 发表于 2011-1-19 14:45:33 | 显示全部楼层
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