微机电系统CAD的设计原则

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    由于微机电系统与传统的机械和微电子系统在设计、加工上存在很大的差别，因此，微机电系统CAD的研究必须与此相适应，要遵循以下的一些原则：

    1、微机电系统技术涉及微电子学、微机械学、微动力学、微流体学、电磁静力学、微热力学、材料学、物理学、化学、生物学等，这些学科相互作用，共同构成了完整的系统，实现确定的功能。多能量域的耦合问题是微机电系统CAD最迫切、也是最难以解决的问题。

    2、由于微机电系统的制造目的是得到三维的几何结构，因此，微机电系统CAD要能够提供自动生成三维模型的工具，要有结构仿真器。

    3、微机电系统的加工制造过程不仅会改变结构的几何参数，还会改变材料的性质，这将会影响结构的电子和机械特性。因此，微机电系统CAD必须建立相应的材料特性数据库，并且可以根据工艺流程自动地将材料特性插入三维几何模型中。

    4、微机电系统的器件在几何上是复杂的三维结构，在物理上各种能量域相互耦合。计算中不仅要进行内部的量化分析，还要进行结构外部的各种场合的分析(如电场、流场等)。这些分析计算量大，耗时长，而且要求有较大的内存，因此，微机电系统CAD要以快速有效的算法作为基础。