MEMS CAD设计目前的困难及其意义

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    和成熟的IC CAD相比，MEMS的设计是非常复杂而艰难的，这主要是由于：

    （1）MEMS涉及多种学科和多个能域，因此要求具备的知识基础很宽；

    （2）MEMS所涉及的微观领域，有许多规律与现象还不被人们完全了解和认识，即基础理论不充分；

    （3）微机械种类很多，即使在同一类中，其结构、功能也千差万别，因此很难用统一的模式来规范其设计。

    MEMS CAD技术的意义表现在：

    （1）优化MEMS结构与性能；

    （2）缩短MEMS设计周期；

    （3）模拟制造过程、降低生产成本；

    （4）帮助理解一定范围内机械、电、磁、热等能量之间的相互作用，为发明新的MEMS器件奠定基础。

    如今大多数的MEMS CAD都是采用了精确的数值求解器。这样精确的求解器不仅耗时而且占用大量资源，尤其是不适合于系统级的分析。在系统级设计中必须采用与电系统描述和分析相类似的技术与方法。