MEMS-专刊

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熔化缺陷可能导致更小更强大的芯片
着芯片缩小，在蚀刻线条，圆点和其他形状上的
微小缺陷成为性能的主要障碍。普林斯顿大学的
工程师们现在找到一种方法逐个熔化掉这种缺陷，使用的
方法可以大大提高芯片的质量而不增加造价。该方法发表
在5 月4 日的Nature Nanotechnology 上，在现有技术条
件能尽可能更精确的塑造芯片组件。更精确的部件形状可
以帮助制造商建立更小更好的芯片，这是更强大的计算机
和其他设备的关键。芯片上的结构直，薄和高使得微芯片
工作最佳。在大多数

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