为什么膜会蒸镀到背面

darly009 · 发表于 2010-12-8 09:58:11

50nm的厚度怎么镀？

keyanfang · 发表于 2011-3-6 23:02:11

z1206l 发表于 2010-12-2 12:43
这是正常现象。
因为镀膜理论就是这样的，分子往上跑的轨迹不完全是直线的。

盖子？？
是mask吗？

wlinliu · 发表于 2011-3-7 02:47:10

50nm啊,漏了这么多,那你的夹具设计问题可太大了,把空隙想办法堵上,边上分子也容易撞在炉壁上发生反弹,给漏镀的,记得把边加高

sery1234 · 发表于 2011-3-7 16:37:05

这是正常的，我镀的会厚20NM左右，我想你镀膜的产品中间是有空隙的，而且为了保护机器的顶部不弄脏，你还在上面加了盖板，这样的话原子碰到回反射回来，如果你把盖子拿掉，会好点，但是得不偿失，你镀膜第一面的时候有意识的做短一点就好了，另外楼主说的长50NM的意思应该是本来我做好的光谱是单点1550NM的，结果镀膜完成后跑到1600NM去了，另外，产品镀膜完成后自然冷却的过程，和二次烘烤也会引起一些变化，即使冷镀最后基片上温度也有100左右。

处理这种问题，我觉得就是多看几次，找到准确的规律，比如你最后一层如果用360膜厚仪控制的话，1NM会引起多少NM的误差（光谱上），镀第一面和第二面的时候最后一层调整下就好了，也不用变化膜系，对于单点的来说，最后一层只是影响到长短的问题，而不会引起最低点的变化，当然是小范围的了。希望大家共同交流！

xiaohuilee · 发表于 2011-5-29 11:47:17

加盖板镀膜就不会产生了

gxfdllg · 发表于 2012-5-10 16:22:35

镀的膜时间长了就会更加明显，像镀IR好几十层! 第一面总有吸收。加盖板比较简单实用。

wdydede · 发表于 2012-5-10 23:20:17

"这是正常的，我镀的会厚20NM左右，我想你镀膜的产品中间是有空隙的，而且为了保护机器的顶部不弄脏，你还在上面加了盖板，这样的话原子碰到回反射回来，如果你把盖子拿掉，会好点，但是得不偿失，你镀膜第一面的时候有意识的做短一点就好了，另外楼主说的长50NM的意思应该是本来我做好的光谱是单点1550NM的，结果镀膜完成后跑到1600NM去了，"
我个人觉得28楼说的有道理！实际的光学厚度只的50/4=12.5nm，如果再除去折射率则厚度会更小。
没有冷镀过，

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