MEMS光开关静电驱动结构的研究

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贾翠萍 朱海丰中国石油大学（华东）物理科学与技术学院

对MEMS光开关的悬臂驱动结构进行了设计，考虑到采用湿法腐蚀技术制作的微反射镜与设计尺寸偏差较大，会对光开关的性能产生一定影响，提出了一种扭臂和微反射镜相平行的光开关悬臂驱动结构，该种结构能够实现大面积微反射制作的同时，而不提高光开关的驱动电压，具有结构紧凑，便于集成的优点。采用该悬臂驱动结构，成功制作了8×8光开关阵列，单面微反射镜面积达到180μm×600μm，在65V的驱动电压下，能够实现微反射镜180μm的大位移。

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2010-6-5 23:50 上传

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