急求，镀膜机出问题了！

wfbadjx · 发表于 2010-6-3 18:15:47

用一台很老的DM-450C型真空镀膜机，机子估计已经用了很久了，期间还烧过一次。。。
早上用机子的时候还不错，但是下午镀的时候一开始是开高阀没有用，气压一点也不动。
关机，重新启动，高阀开了，可以用了，但是抽到4E-3Pa的时候就抽不动了，而且过了几分钟后气压开始上升。
而且没有顶的，一直在升。
很奇怪，要是漏气的话应该顶多就是抽不动，怎么会气压还会上升呢？
请教各位大哥！

zzzz · 发表于 2010-6-4 16:04:58

啥是烧过一次???

qjy · 发表于 2010-6-4 16:31:32

很可能是高阀出问题了，高真空状态下关闭高阀真空度就会一直缓慢下降

280345601 · 发表于 2010-6-4 16:46:07

DM450...

resees · 发表于 2010-6-4 20:52:55

拉杆切换出现问题的可能性最大，其次就是储气罐

z1206l · 发表于 2010-6-29 20:28:31

关闭相应的阀门，看看真空度变化情况。

imgyang · 发表于 2010-7-13 18:51:49

1.漏气；
2.漏水；

wazxq · 发表于 2010-7-15 09:11:10

有可能扩散泵有问题

冰雨8788 · 发表于 2010-8-10 21:48:40

请高手指点，我也在学习中。。。。。。。。。

x_x_x_f · 发表于 2010-8-27 23:26:34

扩散泵过热。把炉盘降低些试试。

ngfcaipiao · 发表于 2010-8-28 12:14:22

将机子拆了吧，这么老！

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