楼主: JZNT

镀出的产品有白雾,求助!!!!!

 火... [复制链接]
发表于 2010-7-1 16:35:45 | 显示全部楼层
用没用离子源,有时离子源打火会出现这种问题,特别是霍尔源。
头像被屏蔽
发表于 2010-7-5 15:18:02 | 显示全部楼层
提示: 作者被禁止或删除 内容自动屏蔽
发表于 2010-10-22 09:00:07 | 显示全部楼层
是不是膜料出的问题啊
发表于 2010-10-30 16:20:19 | 显示全部楼层
检查一下氧气量
发表于 2010-10-30 22:34:05 | 显示全部楼层
发表于 2010-11-3 09:15:32 | 显示全部楼层
这可能与环境空气中的湿度有一定关系
发表于 2010-11-3 09:36:45 | 显示全部楼层
如果用了离子源,清洁下离子源
发表于 2010-12-10 09:54:53 | 显示全部楼层
其实原因会很多,真空度;膜材蒸发速率;腔体洁净度;离子源的输出功率;基片的洁净度;粗抽气时腔内空气扰动。还有~~等等
发表于 2011-2-12 23:57:22 | 显示全部楼层
如果是原来没有,突然出现的白雾,可能与光坯处理不当有关了
发表于 2011-2-13 16:47:10 | 显示全部楼层
1. 首先确认一下夹具是否清洁干净. 烘烤了
2. 你的基体是擦拭的还是超声波清洗的.要区分清楚. 检查的时候看看是否有水渍残留
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发表于 2011-2-13 20:54:27 | 显示全部楼层
是用夹具,还是用胶带粘的,认真看一下也说不定是离子源的能量和夹具产生的火花
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