太阳能硅片精密切割技术及其特性研究

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2010-5-10 15:15 上传

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本文在对当前太阳能硅片常见切割技术及其特性进行分析和比较的基础上，提出数控超声振动切割太阳能硅片技术，为太阳能硅片的精密切割提供一种新的实用的加工方法。